新登場
精密チャージニュートラリゼーション
精密ガス供給のための電動ニードル
精密XYZステージにガイドされた独自のニードルが、サブミクロンの精度でガスの細いジェットを供給し、最大BSE信号のための高真空条件を維持しながら、必要な場所に正確にチャージを中和します。
シームレスな統合
Katana ミクロトーム専用アタッチメントとして設計され、既存のSBF-SEMハードウェアおよびソフトウェアワークフローに完璧に統合されます。
シームレスな統合
Katana ミクロトーム専用アタッチメントとして設計され、既存のSBF-SEMハードウェアおよびソフトウェアワークフローに完璧に統合されます。
精密超音速ジェット
独自のニードルが、活性イメージングサイトに正確に向けられた集束超音速ガス分子ジェットを生成します。これにより後方散乱電子（BSE）収集が最大化され、従来のガス注入や低真空方式では達成不可能な画像鮮明度を実現します。
精密超音速ジェット
独自のニードルが、活性イメージングサイトに正確に向けられた集束超音速ガス分子ジェットを生成します。これにより後方散乱電子（BSE）収集が最大化され、従来のガス注入や低真空方式では達成不可能な画像鮮明度を実現します。
チャージングアーティファクトの除去
樹脂包埋サンプルでの直接比較 — 精密チャージニュートラリゼーションなしとあり
PCNなし
PCNあり
技術仕様
性能を追求した設計
ニードル
- 1 μm 位置決め分解能
- 0.5 mm 外径 真鍮ニードル
ガス供給
- 0–0.6 MPa ガス圧力
- 4 mm プッシュフィットガスコネクタ
- 対応ガス：N₂、Ar 他
互換性
- 新規・既存のKatana ミクロトーム
- すべての標準SEM
- 高真空動作環境