精密電荷中和
必要な分だけのガスを、必要な場所にだけ。
微量のガスを、ROI へ届ける。
電動ニードルがジェットをそこまで運び、そこに保つ。帯電を打ち消すのに必要な流量はごくわずか — チャンバー全体にガスを充てんする必要はない。
katana のために作られた
katana ミクロトーム専用アタッチメント。すでに使っているハードウェアとソフトウェアにそのまま収まる。
非導電性試料を、帯電なしで
同じ樹脂包埋ブロック面。精密電荷中和なしとあり — どちらも高真空で撮像。
PCNなし
PCNあり
仕様
ニードルが依拠する数値。
性能
1 μm
位置決め分解能
0–0.6 MPa
ガス圧力
0.5 mm
ニードル外径
高真空
動作環境
ガス供給
- プッシュフィット・ガスコネクタ4 mm
- 対応ガスN₂、Ar 他
- ニードル材質真鍮
互換性
- katana ミクロトーム新規・既存
- 顕微鏡互換性すべての標準 SEM
- 設計対象SBF-SEM